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VT6000高分辨率成像共聚焦顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像。橫向分辨率高，所展現(xiàn)的放大圖像細節(jié)要高于常規(guī)的光學(xué)顯微鏡。更擅長微納級粗糙輪廓的檢測。

SuperViewW白光干涉表面微觀形貌檢測系統(tǒng)通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋，使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮孑喞獌x。它能以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

NS系列軟膜材料臺階高度測量儀是利用光學(xué)干涉原理，通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度，具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優(yōu)點。它可以測量各種材料的膜層厚度，包括金屬、陶瓷、塑料等。

CEM3000優(yōu)于4nm高分辨率臺式掃描電鏡是一款用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析的緊湊型設(shè)備?？臻g分辨率出色和易用性強，用戶能夠非?？旖莸剡M行各項操作。甚至在自動程序的幫助下，無需過多人工調(diào)節(jié)，便可一鍵得到理想的拍攝圖片。

NS系列涂層厚度測量臺階儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率，同時，其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術(shù)，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。

SuperViewW白光干涉3D顯微測量儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。其特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

在相同物鏡放大的條件下，VT6000共聚焦3D超景深顯微鏡所展示的圖像形態(tài)細節(jié)更清晰更微細，橫向分辨率更高。擅長微納級粗糙輪廓的檢測，能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。

SuperViewW摩擦磨損形貌白光干涉測量儀是以白光干涉技術(shù)為原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)對摩擦磨損區(qū)進行全面的分析判斷。