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SJ6000激光干涉儀檢測(cè)光刻機(jī)

發(fā)布時(shí)間:2021/4/9 10:03:38

光刻機(jī)是集成電路生產(chǎn)的最關(guān)鍵的設(shè)備之一,在整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程中占據(jù)重要的地位。高精度的工作臺(tái)作為光刻機(jī)核心部件之一,運(yùn)動(dòng)性能和定位精度決定了光刻工藝所能實(shí)現(xiàn)的線(xiàn)寬和產(chǎn)率。

光刻機(jī)的工作臺(tái)是一個(gè)六自由度的運(yùn)動(dòng)臺(tái),其中X/Y向運(yùn)動(dòng)臺(tái)是最核心的基礎(chǔ)工序。管控XY軸角度YawPitch,直線(xiàn)度Horizontal StraightnessVertical Straightness是獲得XY線(xiàn)性(重復(fù))精度(Linear Positioning)的關(guān)鍵,是后續(xù)實(shí)現(xiàn)六自由度的控制的基石,是多層曝光對(duì)準(zhǔn)精度的源頭。

本次檢測(cè)一臺(tái)光刻機(jī)XY軸的角擺和直線(xiàn)度,部分結(jié)果如下:

 

YVertical Straightness測(cè)量

XPitch測(cè)量

X軸測(cè)量軸長(zhǎng)225mm,其中垂直直線(xiàn)度測(cè)得結(jié)果0.58μm。 

Y軸測(cè)量軸長(zhǎng)600mm,測(cè)得角度Yaw結(jié)果0.86″。

 

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